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日本小坂KOSAKA | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000系列概述
臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺(tái)階儀測量薄膜厚度,臺(tái)階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax…),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動(dòng)探索樣品表面
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000系列特點(diǎn)
★ 高精度.安定性.機(jī)能性卓yue適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
★ 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
★ ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī)。
★ ET4300一適合12″樣品測量。